Alkoholverbindung, Chemisch Verstärkte Negativresistzusammensetzung und Verfahren zur Herstellung eines Resistmusters

EP4258056 Art A3 28. Februar 2024

Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4258056
Aktenzeichen
EP23192171
Anmeldetag
22. Dezember 2021
Veröffentlichung
28. Februar 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C07C43/23C07C69/44C07C69/712C07C69/76C07C69/82C08L33/26C08L33/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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