Verfahren und Vorrichtung zum Kontinuierlichen Laden einer Substratkassette

EP4260364 Art A1 18. Oktober 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4260364
Aktenzeichen: EP21904060
Anmeldetag: 19. Oktober 2021
Veröffentlichung: 18. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/677H01L21/67H01L21/683H02S50/10G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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