Adaptives Schlammabgabesystem

EP4263131 Art A1 25. Oktober 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4263131
Aktenzeichen: EP21907928
Anmeldetag: 17. Dezember 2021
Veröffentlichung: 25. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: B24B49/02B24B49/12B24B37/015B24B57/02G06N20/00H01L21/67G05B19/4063G05B19/4099G06N3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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