Becherförmiges Spannfutter einer Substrathaltevorrichtung und Substrathaltevorrichtung

EP4265825 Art A1 25. Oktober 2023

Anmelder: ACM Research (Shanghai) Inc. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4265825
Aktenzeichen: EP21905444
Anmeldetag: 19. November 2021
Veröffentlichung: 25. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C25D17/08C25D17/00C25D17/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ACM Research (Shanghai) Inc.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 ACM Research (Shanghai)

ACM Research (Shanghai) ist die chinesische Tochtergesellschaft des US-notierten Halbleiterausrüsters ACM Research mit Sitz in Shanghai, der Reinigungs- und Beschichtungsanlagen für die Chipfertigung herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2007 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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