Vorrichtung und Verfahren zum Betrieb Akustooptischer Deflektoren

EP4268014 Art A1 1. November 2023

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4268014
Aktenzeichen: EP21916149
Anmeldetag: 11. November 2021
Veröffentlichung: 1. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G02F1/33G02F1/11G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Electro Scientific Industries, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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