Überwachung der Konzentration von Radikalen Partikeln mittels Massenspektrometrie

EP4268261 Art A1 1. November 2023

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4268261
Aktenzeichen: EP21848503
Anmeldetag: 16. Dezember 2021
Veröffentlichung: 1. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J49/00H01J49/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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