Verfahren zum Entfernen des Oberen Teils einer Opferschicht und Opferlösung und Saure Wässrige Lösung dafür

EP4268267 Art A1 1. November 2023

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4268267
Aktenzeichen: EP21843620
Anmeldetag: 20. Dezember 2021
Veröffentlichung: 1. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/311H01L21/027H01L21/033

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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