Selektives Entfernen von Metalloxid-Hartmasken

EP4271765 Art A1 8. November 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4271765
Aktenzeichen
EP21916262
Anmeldetag
22. Dezember 2021
Veröffentlichung
8. November 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C09K13/08H01L21/311
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

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