Durch Generative Fertigung Hergestellte Elektrostatische Spannvorrichtung sowie Zugehörige Verfahren und Strukturen

EP4272246 Art A1 8. November 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4272246
Aktenzeichen
EP21916261
Anmeldetag
22. Dezember 2021
Veröffentlichung
8. November 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/683H01L21/687B22F5/10B22F7/06B22F10/28B33Y70/10B33Y80/00H01L21/67B33Y10/00// C22C1/04
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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