Verfahren und Vorrichtung zur Verarbeitung eines Substrats

EP4272248 Art A1 8. November 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4272248
Aktenzeichen: EP21916136
Anmeldetag: 19. Oktober 2021
Veröffentlichung: 8. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L23/528H01L23/31H10D30/67H10D99/00H10D86/40H10D86/60

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von