Anordnung mit Entkopplungsverbindung zur Mechanischen Befestigung eines Elements
EP4275086
Art A1
15. November 2023
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4275086
- Aktenzeichen
- EP21816409
- Anmeldetag
- 19. November 2021
- Veröffentlichung
- 15. November 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B7/18G02B7/00G02B26/00G02B7/182
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
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