System und Verfahren zum Bearbeiten von Siliziumscheiben
EP4276890
Art A1
15. November 2023
Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4276890
- Aktenzeichen
- EP22172684
- Anmeldetag
- 11. Mai 2022
- Veröffentlichung
- 15. November 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66B23D59/00B28D5/04H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Siltronic AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Siltronic
Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.
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