Cycloheptatrien-MOLYBDÄN(0)-Vorläufer zur Abscheidung von Molybdänfilmen

EP4277913 Art A1 22. November 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc., National University of Singapore 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4277913
Aktenzeichen
EP22739912
Anmeldetag
10. Januar 2022
Veröffentlichung
22. November 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C07F11/00C07F17/00C23C16/18C23C16/455C23C16/32C23C16/34C23C16/40C23C16/42C07F9/50
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
National University of Singapore
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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🇸🇬 National University of Singapore

Staatliche Universität in Singapur, eine der größten und international bestbewerteten Hochschulen Asiens. Sie ist in Forschung und Lehre breit aufgestellt, mit starken Ingenieur- und Naturwissenschaftsfakultäten.

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