Vorrichtung zur Bereitstellung eines Verflüssigten Materials, Dosiersystem und Verfahren zur Dosierung eines Verflüssigten Materials

EP4278027 Art A1 22. November 2023

Anmelder: Elevated Materials Germany GmbH, Applied Materials, Inc. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4278027
Aktenzeichen: EP21920075
Anmeldetag: 28. Dezember 2021
Veröffentlichung: 22. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/14C23C14/24B01D1/00G01F11/02H01M4/04H01M4/1395H01M4/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Elevated Materials Germany GmbH
Applied Materials, Inc.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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