Verfahren zum Nanoätzen von Kupfer- und Kupferlegierungsoberflächen

EP4279634 Art A1 22. November 2023

Anmelder: Atotech Deutschland GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4279634
Aktenzeichen: EP22173745
Anmeldetag: 17. Mai 2022
Veröffentlichung: 22. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23F1/18H01L21/3213H05K3/06H05K3/38C23F1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Atotech Deutschland GmbH & Co. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Atotech Deutschland

Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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