Ätzzusammensetzung, Ätzverfahren, Herstellungsverfahren für Halbleiterbauelement und Herstellungsverfahren für Gate-All-Around-Transistor

EP4280258 Art A1 22. November 2023

Anmelder: Mitsubishi Chemical Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4280258
Aktenzeichen: EP21919549
Anmeldetag: 15. November 2021
Veröffentlichung: 22. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3213H01L21/306H01L29/66C09K13/00// H01L29/06H01L29/08H01L29/423H01L29/775H01L29/786B82Y10/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Chemical Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Das Unternehmen entwickelt Grund- und Spezialchemikalien, Kunststoffe, Materialien für Elektronik und Energiespeicher sowie Pharma- und Life-Science-Produkte.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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