Ladungsverriegelungsmesser

EP4281739 Art A1 29. November 2023

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4281739
Aktenzeichen: EP22743158
Anmeldetag: 20. Januar 2022
Veröffentlichung: 29. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01L9/00G01L13/02G01L19/08G01L21/00G01L15/00G01L21/12G01L27/00G01L19/00G01L19/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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