Verfahren zur Verringerung der Auswirkung von Phasengitterasymmetrie auf die Positionsmesspräzision

EP4283249 Art A1 29. November 2023

Anmelder: Institute Of Microelectronics, Chinese Academy Of Sciences 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4283249
Aktenzeichen: EP21920627
Anmeldetag: 16. September 2021
Veröffentlichung: 29. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/00G03F9/00G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Institute Of Microelectronics, Chinese Academy Of Sciences
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences

Chinesisches Forschungsinstitut der Chinese Academy of Sciences mit Schwerpunkt auf Mikroelektronik und Halbleitertechnologie. Patente betreffen Chipdesign und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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