Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung mit Gestapelten Transistoren

EP4283663 Art A1 29. November 2023

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4283663
Aktenzeichen: EP22175266
Anmeldetag: 24. Mai 2022
Veröffentlichung: 29. November 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/822H01L21/8234H01L21/8238H01L29/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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