Abscheidungsverfahren mit Hohem Durchsatz

EP4284959 Art A1 6. Dezember 2023

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4284959
Aktenzeichen
EP22746411
Anmeldetag
19. Januar 2022
Veröffentlichung
6. Dezember 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/30C23C16/36C23C16/455H01L21/02C07F7/10
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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