Mikrowellensystem für Mikrowellenunterstütztes Oberflächenchemieglühen von Ald-Prozessen unter Verwendung von Mikrowellenstrahlungsenergie

EP4288580 Art A1 13. Dezember 2023

Anmelder: MKS Inc., MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4288580
Aktenzeichen: EP22750273
Anmeldetag: 2. Februar 2022
Veröffentlichung: 13. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/48H05B6/64H01J37/32C23C16/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MKS Inc.
MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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