Verfahren zur Herstellung eines Optischen Elements, Vorrichtung zur Herstellung eines Optischen Elements, Optisches Element und Lithografiesystem
EP4288839
Art A1
13. Dezember 2023
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4288839
- Aktenzeichen
- EP22703354
- Anmeldetag
- 2. Februar 2022
- Veröffentlichung
- 13. Dezember 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20C23C14/04G01N21/94G02B5/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Kanzlei
Lorenz & Kollegen
Heidenheim, Deutschland
Lorenz & Kollegen wurde 1976 von Dr. Werner Lorenz als Einzelkanzlei in Heidenheim an der Brenz gegründet, seit 2011 mit zweitem Standort in München. Schwerpunkte in Maschinenbau, Optoelektronik, Elektrotechnik, Physik und Informationstechnologie, dazu Marken- und Urheberrecht.
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