Abgestufte Dotierung in Leistungsvorrichtungen

EP4289006 Art A1 13. Dezember 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4289006
Aktenzeichen
EP22750192
Anmeldetag
26. Januar 2022
Veröffentlichung
13. Dezember 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L29/861H01L21/329H01L29/36H01L29/06H01L29/872H01L21/67// H01L29/20H01L29/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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