Polierverfahren und Polierzusammensetzung

EP4289915 Art A1 13. Dezember 2023

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4289915
Aktenzeichen
EP22749730
Anmeldetag
2. Februar 2022
Veröffentlichung
13. Dezember 2023
Rechtsraum
EP
IPC
C09K3/14B24B37/00H01L21/304C09G1/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujimi Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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