Verfahren zur Herstellung eines Halbleitersubstrats und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP4290553 Art A1 13. Dezember 2023

Anmelder: MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4290553
Aktenzeichen
EP21924614
Anmeldetag
4. Februar 2021
Veröffentlichung
13. Dezember 2023
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/338H01L29/778H01L29/812
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Electric

Japanisches Unternehmen, das Elektro- und Elektroniktechnik entwickelt und herstellt, darunter Automatisierung, Energie-, Klima- und Fahrzeugtechnik.

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