Bogenstrahlabtastung zur Unterdrückung von Anodenüberwachstum in einem Picvd-System

EP4291689 Art A1 20. Dezember 2023

Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4291689
Aktenzeichen: EP22708475
Anmeldetag: 9. Februar 2022
Veröffentlichung: 20. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/517H01J37/32H05H1/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon

Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.

286 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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