Einstellungsverfahren zur Einstellung der Temperaturbedingungen eines Epitaxieverfahrens

EP4291699 Art A1 20. Dezember 2023

Anmelder: SOITEC 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4291699
Aktenzeichen: EP22702700
Anmeldetag: 28. Januar 2022
Veröffentlichung: 20. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C30B23/02C30B25/16C30B29/06H01L21/762

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SOITEC
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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