Verfahren und Vorrichtung zur Plasmaverstärkten Chemischen Dampfabscheidung von Graphen bei Niedriger Temperatur

EP4292124 Art A1 20. Dezember 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4292124
Aktenzeichen: EP22753102
Anmeldetag: 11. Januar 2022
Veröffentlichung: 20. Dezember 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/285H01L21/768H01L23/532C23C16/26C23C16/511C01B32/186H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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