Verfahren und Vorrichtung zur Verarbeitung eines Substrats

EP4295387 Art A1 27. Dezember 2023

Anmelder: Applied Materials, Inc., National University of Singapore 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4295387
Aktenzeichen
EP22756669
Anmeldetag
11. Januar 2022
Veröffentlichung
27. Dezember 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/21B24B57/02// G01N21/94G01N21/95
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
National University of Singapore
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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🇸🇬 National University of Singapore

Staatliche Universität in Singapur, eine der größten und international bestbewerteten Hochschulen Asiens. Sie ist in Forschung und Lehre breit aufgestellt, mit starken Ingenieur- und Naturwissenschaftsfakultäten.

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