Röntgenvorrichtung und Strukturherstellungsverfahren

EP4295970 Art A3 27. März 2024

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Metrology NV 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4295970
Aktenzeichen: EP23207924
Anmeldetag: 26. September 2013
Veröffentlichung: 27. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H05G2/00G01N23/04H05G1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Metrology NV
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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