Bordsystem zur Messung eines Restvakuumdrucks und Verfahren zur Diagnose des Sekundärvakuums in einer Dünnschichtabscheidungslinie

EP4298417 Art B1 30. Juli 2025

Anmelder: Saint-Gobain Glass France 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4298417
Aktenzeichen: EP22707439
Anmeldetag: 23. Februar 2022
Veröffentlichung: 30. Juli 2025
Erteilung: 30. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G01L21/34C23C14/54H01J41/06C23C14/34C23C14/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Saint-Gobain Glass France
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Saint-Gobain

Französischer Industriekonzern mit Sitz in Courbevoie bei Paris, einer der weltweit führenden Hersteller von Baustoffen. Aktiv in Glastechnologie, Hochleistungswerkstoffen, Isolierungen sowie Bau- und Verpackungslösungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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