Verfahren und Vorrichtung zur Rutheniumoxidreduktion auf Extrem-Ultraviolett-Fotomasken

EP4298479 Art A1 3. Januar 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4298479
Aktenzeichen: EP22760197
Anmeldetag: 8. Februar 2022
Veröffentlichung: 3. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/48G03F1/24

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

6.825 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von