Verfahren zur Herstellung des Rests eines Donorsubstrats, dessen Schicht durch Delamination Entfernt Wurde
EP4298660
Art B1
17. Juli 2024
Anmelder: SOITEC 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4298660
- Aktenzeichen
- EP22708987
- Anmeldetag
- 14. Februar 2022
- Veröffentlichung
- 17. Juli 2024
- Erteilung
- 17. Juli 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/762
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SOITEC
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Soitec
Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.
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