Verfahren zum Ätzen von Molybdän

EP4298662 Art A1 3. Januar 2024

Anmelder: IMEC VZW, SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4298662
Aktenzeichen: EP21708580
Anmeldetag: 24. Februar 2021
Veröffentlichung: 3. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3213C23F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇧🇪 Belgien

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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