Verminderung des Sauerstoffgehaltes in einer Prozesskammer

EP4299315 Art A1 3. Januar 2024

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4299315
Aktenzeichen: EP22181901
Anmeldetag: 29. Juni 2022
Veröffentlichung: 3. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: B33Y40/00H01J7/18B22F3/15B22F3/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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