Pellikel, Originalplatte für Lichtexposition, Lichtexpositionsvorrichtung, Verfahren zur Herstellung des Pellikels und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP4300189 Art A1 3. Januar 2024

Anmelder: Mitsui Chemicals, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4300189
Aktenzeichen: EP22780942
Anmeldetag: 29. März 2022
Veröffentlichung: 3. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Mitsui Chemicals, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsui Chemicals

Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.

2.366 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von