Messvorrichtung, Lithografiesystem und Belichtungsvorrichtung sowie Steuerungsverfahren, Überlagerungsmessverfahren und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP4300194 Art A3 10. April 2024

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4300194
Aktenzeichen: EP23211139
Anmeldetag: 23. Februar 2016
Veröffentlichung: 10. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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