Steuerung von Verarbeitungsparametern Während des Polierens eines Substrats unter Verwendung einer Kostenfunktion oder Erwarteten Zukünftigen Parameteränderungen

EP4301549 Art A1 10. Januar 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4301549
Aktenzeichen: EP22763838
Anmeldetag: 28. Februar 2022
Veröffentlichung: 10. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/005B24B49/16B24B47/12H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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