Steuerung von Konzentrationsprofilen für Abgeschiedene Filme unter Verwendung von Maschinellem Lernen

EP4301897 Art A1 10. Januar 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4301897
Aktenzeichen: EP22763764
Anmeldetag: 18. Februar 2022
Veröffentlichung: 10. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/52G06N20/00G05B13/02H01L21/67G06N3/08C23C14/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

6.825 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von