Systeme und Verfahren zur Überwachung und Diagnose des Zustands einer Prozesskammer unter Verwendung eines Virtuellen Modells

EP4302322 Art A1 10. Januar 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4302322
Aktenzeichen: EP22763753
Anmeldetag: 16. Februar 2022
Veröffentlichung: 10. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67G06N20/00// G05B23/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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