Fokussierungsvorrichtung, Mikroskopvorrichtung, Fokussierungsverfahren und Steuerungsprogramm

EP4303639 Art A3 28. Februar 2024

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4303639
Aktenzeichen
EP23203488
Anmeldetag
30. Mai 2014
Veröffentlichung
28. Februar 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G02B21/26G02B7/28G02B7/36G02B7/38G02B21/00G02B21/36G02B21/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Vertreten von
Müller, Philipp Freiburg im Breisgau, Deutschland
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Patente gesamt
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Fachgebiete
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