Monitor und Korrektor für ein Strahlablenkungsfeld mit Gerichteter Energie

EP4305657 Art A1 17. Januar 2024

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4305657
Aktenzeichen: EP22712707
Anmeldetag: 4. März 2022
Veröffentlichung: 17. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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