Substrat mit Fluorierten Yttriumbeschichtungen und Verfahren zur Herstellung und Verwendung der Substrate
EP4308746
Art A1
24. Januar 2024
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4308746
- Aktenzeichen
- EP22772122
- Anmeldetag
- 16. März 2022
- Veröffentlichung
- 24. Januar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/08C23C16/04C23C16/40
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar