Verfahren zur Herstellung eines Reflektierenden Optischen Elements für den Extrem-Ultravioletten Wellenlängenbereich und Reflektierendes Optisches Element

EP4308981 Art A1 24. Januar 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4308981
Aktenzeichen: EP22712561
Anmeldetag: 9. März 2022
Veröffentlichung: 24. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/08G03F7/20G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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