Automatisiertes Trocken-In-Trocken-Aus-Doppelseitenpolieren von Siliciumsubstraten mit Integrierter Schleuderrifentrocknung und Metrologie

EP4313485 Art A1 7. Februar 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4313485
Aktenzeichen: EP22776284
Anmeldetag: 16. Februar 2022
Veröffentlichung: 7. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/005B24B55/06B24B49/12H01L21/67H01L21/677B24B37/013B24B37/34H01L21/687H01L21/66B24B37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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