Vakuumdurchführung, Elektrodenanordnung und Vorrichtung zur Erzeugung einer Stillen Plasmaentladung

EP4314780 Art B1 27. November 2024

Anmelder: Inficon AG 🇱🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4314780
Aktenzeichen
EP22716931
Anmeldetag
21. März 2022
Veröffentlichung
27. November 2024
Erteilung
27. November 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/67G01L21/32G01L21/34H01J37/32H05H1/24// H01J41/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Inficon AG
Land
🇱🇮 Liechtenstein
🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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