Polierverfahren, Verfahren zur Herstellung eines Halbleitersubstrats und Polierzusammensetzungssatz

EP4317337 Art A1 7. Februar 2024

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4317337
Aktenzeichen
EP22775475
Anmeldetag
18. März 2022
Veröffentlichung
7. Februar 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02C09K3/14B24B37/00H01L21/304C09D5/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujimi Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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