Trägerplattenvorrichtung, Belichtungsvorrichtung, Inspektionsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP4317722 Art A1 7. Februar 2024

Anmelder: Sumitomo Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4317722
Aktenzeichen: EP22781233
Anmeldetag: 31. März 2022
Veröffentlichung: 7. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: F16C29/00F16C32/00G03F7/20H01L21/68G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Sumitomo Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.

846 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von