Überlappungssuszeptor und Vorwärmring

EP4320294 Art A1 14. Februar 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4320294
Aktenzeichen: EP22785156
Anmeldetag: 23. März 2022
Veröffentlichung: 14. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C30B25/14H01L21/67C30B25/16H01L21/687C23C16/44C23C16/455C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von