Verfahren zur Herstellung eines Schichtkörpers, Vorrichtung zur Herstellung eines Schichtkörpers, Schichtkörper und Halbleiterbauelement
EP4321657
Art A1
14. Februar 2024
Anmelder: SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4321657
- Aktenzeichen
- EP22784605
- Anmeldetag
- 30. März 2022
- Veröffentlichung
- 14. Februar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/02C23C16/46H01L21/02C30B25/18C23C16/40C30B25/14C23C16/458C30B25/02C23C16/448C30B29/16H01L21/365H01L21/368
Abstract
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Anmelder
- Firma
- SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff
München, Deutschland
Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.
29.952
Patente gesamt
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